第688章 直奔浸润式光刻-《1991从芯开始》
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所以,郑振川也疑惑地望向苏远山。
面对众人疑惑的眼神,苏远山轻轻地吸了口气。
之所以让郑振川直接就上马浸润式光刻机,自然还是因为他对林本坚有着绝对的信心。
林本坚是工程师,而且还是那种按部就班的、极为老派和严谨的工程师。他既然能提出浸润式方案,那脑海中就必定有一个大体的解决方案。
而苏远山上次从hk回来时就路过了沪市,专门去看了林本坚罗列出的一个个要解决的技术问题和难点。按照苏远山对机械工程和光学的浅薄认识来看,这些技术,都不是超越现代机械工程的技术。
那么这就意味着,浸润式方案,也会如同前世一样,或许两年就能搞出来——把时间再算浮一点,那也就是三年!
三年!
如果郑振川和林本坚的团队一同协作,一开始就直奔浸润式duv的研发,那么或许最多三到五年……鸿芯就能推出世界上第一台浸润式duv光刻机。
想到2003年,自己就能拿到可以卖20年都不会落伍的duv,苏远山就感觉到有点燥热起来。
那该是多么伟大的一次超越啊……
“不,林,赵团队没有解决光源,但他们有解决波长的方案。可以实现超越193nm的效果。”苏远山看着曲慧和沈浩然,解释道:“如果郑叔这边和那边直接配合启动该方案的光刻机的研发,那么……或许鸿芯就可能是第一家率先打破193nm的光刻机企业。”
“到时候,别说asml之流,就算尼康佳能,他们也只能跪地求饶。”
“而一旦我们有了话语权,我们再来拉着他们开展对下一代光源、譬如euv的研究……那么主动权就在我们手里了。”
(本章完)
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